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半导体装备大厂科磊宣布宣布四款用于汽车晶片制造的新产物,包罗8935高产能图案晶圆检测系统、C205宽带等离子图案晶圆检测系统、Surfscan SP A2/A3无图案晶圆检测系统、和I-PAT线上缺陷部件平均测试筛选解决方案。

汽车行业在亲热关注电气化、互联性、高级驾驶辅助和自动驾驶等领域的创新。这意味着汽车需要更多的电子装备,因而需要更多的半导体晶片。由于晶片在车辆驾驶和平安应用中的焦点职位,其可靠性至关主要,因此汽车晶片必须到达严酷的品质尺度。

KLA半导体制程控制营业部总裁Ahmad Khan示意,今天的车辆包罗数以千计的半导体晶片,用于感知周围环境、做出驾驶决媾和实行控制。这些晶片不能发生故障,这一事实促使晶片制造商远在晶片集成至车辆中之前,就在晶圆厂内接纳新战略用以发现并削减可靠性缺陷。

Ahmad Khan示意,我们的新产物专为生产汽车晶片的晶圆厂量身定制,在晶片制造的源头侦测潜在的可靠性缺陷,并为线上筛选提供创新的解决方案。这些起劲将协助晶圆厂以高良率制造品质优良且高度可靠的晶片,同时最大限度地提高产量。

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这三台新检测仪组成了一个互补的缺陷发现、监控和控制解决方案,适用于汽车行业中较大设计节点的晶片制造。Surfscan SP A2/A3无图案晶圆检测仪连系了DUV光学系统和先进算法,让系统的迅速率和速率足以在汽车晶片上识别并消除可能发生可靠性问题的制程缺陷,也确保制程装备以最佳的性能运行。

对于研发和批量生产,C205图案晶圆检测仪接纳了宽带光照和 NanoPoint手艺,因而使其对于要害缺陷高度迅速,同时可以加速新制程和装备的优化。对于批量制造,8935图案晶圆检测仪接纳新的光学手艺和DefectWise AI解决方案,能够以低噪比率捕捉种种要害缺陷,并快速准确地识别可能影响晶片最终品质的制程误差。

I-PAT是一个运行于KLA检测和资料剖析系统中的创新线上筛选解决方案。I-PAT首先从包罗8935或Puma雷射光扫描检测仪等在内的高速8系列检测仪在要害制程步骤中采集的所有晶圆资料中提取缺陷特征。然后,I-PAT行使 SPOT量产平台上的定制机械学习算法和Klarity缺陷治理系统的统计剖析功效来鉴别异常的缺陷,从而可以从供应链中剔除有风险的晶片。

除了为汽车晶片制造开发量身定制的新产物外,KLA还继续与汽车行业亲热互助。从KLA加入为汽车行业的电子元件制订认证尺度的汽车电子委员会的成员,到公司在密歇根州安娜堡的第二总部,KLA致力于确保汽车行业实现严酷的电子品质尺度。

KLA的电子、封装和组件营业部执行副总裁Oreste Donzella示意,我们今天宣布的新产物扩充了我们全方位的检测、量测、资料剖析和制程系统组合,为汽车电子生态系统提供多方位的支持。这些产物中的每一种都施展着要害作用,确保了组成汽车电子产物的晶片、组件、印刷电路板和显示器等都具有优异的良率、可靠性和性能。

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